中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9251508 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000Sは、フォトリソグラフィープロセス用途に特化したハイテクエッチャー/アッシャーです。化学的に不活性な石英チャンバー、高精度エッチングノズル、高度な制御ソフトウェアで構成されています。このエッチャー/アッシャーは、精密に制御されたエネルギーイオンのビームを使用して、石英、ポリマー、金属などの人工的に作成された基板上のパターンをエッチングします。高度な制御ソフトウェアと高品質コンポーネントにより、優れたエッチング解像度を提供します。TEL TE 5000Sはフォームファクタが比較的小さいため、テンションフリーのエッチングが可能です。水晶チャンバーは完全に囲まれており、エッチングされる基板の領域からの熱伝達を最小限に抑えます。さらに、強力なHe-Neレーザーソースは、非常に集中したイオンビームを提供することにより、エッチング精度を強制します。ビームは調節可能で、あらゆる適用の特定のエッチングの条件を満たすために微調整することができます。TOKYO ELECTRON TE 5000 Sは、高度な制御ソフトウェアを使用して動作します。このソフトウェアは、エッチング角度、エッチング深さ、エッチング時間、ガス流量、ビームサイズなどのパラメータを含む幅広いパラメータを可能にします。さらに、ソフトウェアは複数のエッチプロセスを順番に実行するようにプログラムすることができ、複数のアプリケーションを同時に実行するのに理想的です。優れたエッチング性能に加えて、TE 5000 Sは温度監視システムを内蔵しています。これにより、エッチングプロセス中の正確な温度制御が可能になり、基板に最適な熱特性を確保します。エッチャー/アッシャーは、さまざまなタイプのガスフローも提供しており、アプリケーション要件に応じてエッチング環境をカスタマイズできます。TOKYO ELECTRON TE 5000Sは、フォトリソグラフィープロセス用途に最適なエッチャー/アッシャーです。正確なエッチング、正確な温度制御、優れた制御ソフトウェアを提供し、高精度を必要とするアプリケーションに最適です。