中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9226073 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000Sは、高精度エッチング用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、さまざまな基板の高解像度リソグラフィー・エッチングを容易にするように設計された、汎用性の高い高性能デバイスです。それは1000°Cまでの温度で直径8インチまでのウェーハのぬれたプロセスを、実行できます。TEL TE 5000Sは、最先端のマルチビームスキャナを備え、エッチングパターンの精密なエッジ定義を提供します。TOKYO ELECTRON TE 5000 Sは、高度な光学イメージング、高解像度走査型電子透過計、パターン定義用の電子ビームリソグラフィなど、独自の機能を備えています。TE 5000Sには、エッチング工程で使用されるガスや溶液の化学組成、エッチャー内部の温度および圧力レベルを監視する機能など、多くの自動化されたプロセス制御対策も含まれています。さらに、エッチング時に最大限の精度を確保するために、原子力顕微鏡を使用するなど、さまざまなプロセス測定ツールを搭載しています。これらの機能に加えて、TE 5000 Sは、デバイス、そのオペレータおよびその周辺を保護するためのさまざまな安全機能も備えています。これらには、絶縁チャンバー、低流量の緊急遮断バルブ、および安全センサーとアラームの配列が含まれます。さらに、このデバイスは堅牢なステンレス製ハウジングを備えており、エッチング工程中に損傷や劣化がないように設計されています。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 Sは強力で正確で信頼性の高いエッチング/アッシング装置です。さまざまな基板の精密エッチングを可能にする洗練された機能や、高度な自動プロセス制御対策と安全機能を備えており、安全性と精度を最大限に高めています。