中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9128547 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000Sは、先端回路のエッチング、薄膜成膜、プラズマ処理などの特殊用途に使用されるエッチャー/アッシャーです。高精度オートフォーカス方式を採用し、最大50ミクロンの精度で様々な用途に最適です。TEL TE 5000Sは、反応性の高い化学物質を基板に供給するエッチャー/アッシャーです。反応化学物質は、レーザービームを生成する電気パルスによってプラズマに変換されます。このレーザービームは基板に到達し、化学物質を一定の温度に加熱します。この反応は非常に微細な合金を作り出し、表面材料をエッチングし、化学的に純粋で清潔な表面を残します。TOKYO ELECTRON TE 5000 Sは、誤差検出・補正用のロジックアナライザを内蔵し、オートフォーカスユニット、高性能レーザースポットサイズアルゴリズムを搭載し、精度の高いエッチングを実現しています。また、化学薬品、タイミング、セットパラメータなど、さまざまな自動制御機能を備えています。TE 5000Sは、市場で入手可能なすべてのツールの中で最も先進的なエッチング/プラズマ処理機能を提供します。複雑な電子回路のエッチング、薄膜基板の加工、酸化物層の応用など、幅広い用途に対応します。さらに、この資産には、マスクレスリソグラフィーなどの最新のリソグラフィーツールが組み込まれています。TOKYO ELECTRON TE 5000Sには、エッチングとプラズマレシピのライブラリも用意されています。さらに、このモデルは、完全なプロセス制御のためのさまざまな監視および制御機能を提供します。さらに、TEL TE 5000 Sは高収率パフォーマンス監視装置を備えており、一貫した結果が得られます。TE 5000 Sエッチャー/アッシャーは、精度の高いエッチングとプロセスをお探しのお客様に最適な機能を提供します。このシステムは、高精度、信頼性の高いパフォーマンス、および結果を確実にするための自動制御機能のスイートを提供します。アプリケーションに関係なく、TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 Sは、効率と精度で基板を正確にエッチングすることができます。