中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #197615 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000Sは、高度な技術と多様な機器との幅広い互換性で設計されたエッチャー/リアクティブイオンエッチング（RIE）装置です。エッチングは、マイクロスケールおよびナノスケールの構造を製造およびパターン化するためのエレクトロニクス用途で一般的に使用されます。フォトリソグラフィは、紫外線を用いて基板上にパターン化されたフォトレジストを形成し、反応ガスを用いて基板内にエッチングします。TEL TE 5000Sは、ドライエッチング、ウェットエッチング、イオンビームエッチング、物理エッチングなど、幅広いプロセスに適しています。TOKYO ELECTRON TE 5000 Sは、ネットワーク化されたグラフィカルユーザーインターフェイスを搭載し、効率的かつ正確なエッチング処理制御を可能にします。その様々な設定は、最適なパフォーマンスのために事前にプログラムされ、調整することができます。ユニットの構成の広い変動性は、さまざまなエッチング用途に適しています。幅広いガスを使用し、個別に調整可能なガスフラックスを使用して最適なプロセスを提供します。ガス消費量が少なく、廃棄物の生産が最小限に抑えられており、環境に優しい機械の確保に役立ちます。このツールは、ビームスティグメーションおよびレチクルステージアライメントシステムと組み合わされたインテリジェントプロセスチャンバーで構築されており、高い精度と安定性を提供します。また、Z軸の高さ調整アセットも備えており、エッチング工程の可変フィルムエッチング速度に必要です。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 Sのチャンバー温度を希望のレベルに正確に設定できます。このモデルは、オペレータと環境を保護するために、自動ドアロックや緊急遮断などの高度な安全機能を備えています。オンボードイメージングと計測システムにより、エッチング構造を正確に記録できます。TOKYO ELECTRON TE 5000Sは、ガス流量や電流漏れ監視、プロセスガス試験など、さまざまな制御機能を備えています。TE 5000Sは、複雑なデバイス処理、基板製造、回路製造など、さまざまなアプリケーションに最適なソリューションです。その高度な技術は、堅牢で正確なエッチングプロセスを保証する信頼性の高い効率的なツールです。製造時間とコストを大幅に削減できる費用対効果の高い機器です。