中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC #9276615 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCは、コンテナなどの高精度エッチングや洗浄に使用される工業用ツールです。このモデルは、高度な技術を使用して、優れた微調整された結果を提供します。TEL TE 5000S ATCは、あらかじめ決められた間隔でさまざまなプロセスモジュールからコンテナを転送することを可能にする自動転送チャンバー、またはATCで設計されています。この高度な機能により、異なるモジュール間の遷移が非常にスムーズになります。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCにはロードロックチャンバーがあり、他のモジュールが稼働している状態でもコンテナの積み下ろしが可能で、生産性が向上します。TE 5000S ATCは直径120mmまでの様々な容器に対応可能です。それに± 0。05mmの容器の整列の正確さの高いレベルの精密を、維持する機能があります。さらに、プロセスチャンバーへの容器の密着を防ぐために、粘着防止技術を搭載しています。さらに、効率的な運用のためにTEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCを構築しています。エッチングとクリーニングプロセスを短時間で切り替えることができ、スイッチング時間はわずか40秒で、スタティックターボコントローラ機能によりエッチング速度を簡単に制御できます。さらに、Status Monitor機能は、プロセス速度と温度をリアルタイムで表示できるため、ダウンタイムやその他の運用コストを削減できます。結論として、TEL TE 5000S ATCは、生産性と効率性を最大化しながら優れた結果をもたらすように設計された高度な産業用エッチャー/アッシャーです。コンテナの密着リスクを最小限に抑えながら、精密なアライメント、高速スイッチング、運用コストの削減を実現する多数の機能を備えています。このAsher/Etcherは、正確で正確なエッチングとクリーニングに最適なツールです。