中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC #9148389 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCは、高密度・低コストのエッチングを実現する先進的なエッチング装置です。このシステムは、エッチビームの幅と動きを制御するための自動トラックコントロール（ATC）を利用した独自の設計を採用しています。ATCは、エッチビームの位置と動きに高い精度を提供し、エッチング品質を向上させます。TEL TE 5000S ATCには、高精度のビーム位置決めユニットと、均一なエッチング速度を維持するための精密制御されたエッチング電流源も含まれています。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCは、高い精度とスループットで複数の材料をエッチングできるデュアルレベルのマシンです。SiO2、 SiNx、 SiGeなど、さまざまな基板へのエッチングにも適しています。エッチング速度は、エッチング機能の広い範囲で調整可能であり、エッチャーは高速かつ正確にエッチングすることができます。このツールはまた、所有コストが低く、微細なラインや構造の製造に使用することができます。TE 5000S ATCは、エッチング速度を制御するために、統合されたイオンソースとイオンチャンバーを利用しています。アセットには、エッチプロファイルを制御するための高度なコントローラも組み込まれています。このモデルは、電圧、電流、ビーム方向、エッチング速度などのプロセスパラメータを制御するための迅速なセットアップと簡単なオペレータインターフェイスを可能にします。ATCは、正確な速度と位置制御のためのステッピングモータによって駆動されます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCは、SiO2、 SiNx、 SiGe、 GaNなど幅広い素材をエッチングすることができます。この装置は、電流、電圧、エッチング速度などのエッチプロセスパラメータを優れた制御を提供するように設計されており、高品質のエッチング結果が得られます。このシステムは、スルーホール、ブラインドビア、複雑なパターン、およびその他の高度なエッチング処理に使用できます。TEL TE 5000S ATCは、優れた保護を提供する石英窓と高温ガラス側壁とハイテクなステンレス鋼構造を持っています。このユニットは操作が簡単で、グラフィカルディスプレイを備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えているため、プロセスデータの設定、監視、保存が簡単です。また、緊急時のエッチングプロセスの緊急シャットダウンなど、多くの安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATCは、高密度の低コストのエッチングプロセスに、堅牢で信頼性の高い効率的なエッチングツールを提供します。このアセットは、エッチングプロセスパラメータの優れた制御を提供し、高品質の結果を高速、高精度、再現性で提供します。このモデルは、微細なラインや構造の製造、スルーホール、ブラインドビア、複雑なパターンの製造に最適です。