中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9396121 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、半導体加工を中心に設計された高性能・高精度エッチャー/アッシャーです。そのため、集積回路デバイスの社内製造に最適なツールです。TEL TE5000は、フルプロセスレシピ機能を備えた高度なコントローラを備えたシングルステーションの大面積エッチャー/アッシャーです。サブミクロンのIC製造用に設計されたものをはじめ、さまざまなフォトレジストを正確にパターン化することができます。デジタルユニバーサルコントロールは、迅速なウォームアップと最適化されたプラズマ処理機能を可能にします。東京電子TE-5000は、クォーツウェーハや各種酸化膜など、幅広い基板に均一なコンフォーマルエッチングを提供しています。エッチレートは、デバイスの性能要件を満たすために正確にプログラムすることができます。シリコンは厚さの10％未満を1分未満でエッチングします。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000には、エッチング/灰プロセスの遠隔監視および分析を可能にする診断ポートもあります。このポートにより、オペレータはエッチングの均一性を監視し、必要に応じて調整を行うことができます。東京電子TE 5000は、ポストエッチング/アッシング用途向けの幅広い部品にも対応しています。ケミカルバスタンク、窒素乾燥機、プラズマ蒸着システムなどがあります。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000は、アッシング工程でサンプル表面の汚染物質を環境に配慮して除去します。優れたエッチング/アッシュ性能に加えTE-5000、操作も非常に簡単です。設定可能な機能の範囲により、ユーザーはプロセスパラメータを要件に合わせて簡単に調整できます。TOKYO ELECTRON TE5000は、広範なトレーニングを必要とせず、既存のファブプロセスに簡単に統合できます。全体的に、TEL TE-5000は、優れた精度、制御、および性能を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。精密半導体エッチング/アッシングを自社で行い、世界トップクラスのデバイス生産実績を達成したい方に最適なソリューションです。