中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9269142 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、半自動、低コストのエッチャー/アッシャーです。薄膜材料をエッチングまたはアッシャーするように設計されています。TEL TE5000は、低消費電力プラズマ源、高出力マイクロ波プラズマ源、低圧低価格ガス源を搭載しています。ソースの組み合わせにより、ガラス、シリコン、金属、有機材料などのさまざまな基板のエッチングまたはアッシングが可能です。TOKYO ELECTRON TE-5000エッチングアッシュ装置は、低価格プラズマエッチングおよび低圧化学アッシングプロセスを提供するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000 etch-and-ashシステムは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。このインターフェースにより、オペレータはエッチングとアッシングのプロセスを簡単にプログラムおよび監視できます。TEL TE-5000は、シングルサイドエッチング、ツーサイドエッチング、エッチング・アッシュ、ツーステップエッチング・アッシュなど、特定のプロセスに対応したエッチングおよびアッシングプログラムを提供します。TE-5000はまた、クリーニング用の低消費電力DSEモードから、スパッタリングアルミニウムおよびチタン層の高消費電力DCDモードまで、幅広いスパッタリングモード設定を提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000エッチングアッシュユニットには、高度な診断技術も搭載しています。このマシンは、リアルタイム分析やエッチングおよびアッシングプロセスの予測など、インライン診断を提供します。この技術により、オペレータは現場での処理パラメータの状態を監視することができ、エッチングおよびアッシングプロセスに関する即時フィードバックを提供します。TEL TE 5000は、堅牢で頑丈なフレームから構成され、圧力制御機構や冷却システムなどの幅広い安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON TE 5000には、自動プラズマ洗浄、ガス回収、制御システムなど、さまざまな機能が搭載されています。TOKYO ELECTRON TE5000は、薄膜エッチングとアッシャーの両方に対応する汎用性と低コストのエッチャーです。高度なユーザーインターフェイスと診断技術を備えており、エッチングとアッシングのプロセスを簡単に操作および監視できます。TE 5000は、幅広い基板に低価格プラズマエッチングと低圧化学アッシングモードを提供します。さらに、このツールは、インライン診断、自動制御システム、および圧力制御および冷却システムを含むさまざまな安全機能を提供します。