中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9236835 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000
ID: 9236835
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6" Chamber.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、最高レベルの信頼性と生産性を備えた高性能エッチングおよびアッシング機能を提供するために特別に設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。ウェーハ加工、フォトマスク加工、回路基板製造、材料除去など、さまざまな用途に適しています。TEL TE5000は、高速、低圧、エッチングチャンバーを含む完全自動化システムで、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御できます。均一なエッチング率、優れた再現性を提供し、幅広い高度なエッチングおよびアッシング化学製品で使用できます。自動プロセスコントロールユニットを活用することで、オペレータの相互作用を最小限に抑えながら、再現性と精度の高いエッチングとアッシングの結果を得ることができます。このマシンは、デュアルステージスキャン電子顕微鏡(SEM)と真空プロセスチャンバーと完全に統合されています。これらのコンポーネントにより、エッチングとアッシング化学と基板との相互作用を最小限に抑えながら、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御できます。また、SEMアセットにより、エッチングとアッシングのプロセスをリアルタイムで監視し、廃棄物を最小限に抑えて最適な結果を保証することができます。また、ハイスループット自動ウェーハエッチング、ディープエッチング、フィーチャーサイズ制御のための選択的エッチング、蒸気エッチングなど、プロセス機能の拡充をTE-5000しています。さらに、さまざまなプロセス化学をサポートするために、さまざまな高度なエッチングおよびアッシング化学を備えています。これにより、基板の最適な互換性を提供し、他のエッチングおよびアッシングシステムよりも高いプロセス柔軟性と精度を実現します。TE5000は安全で信頼できるエッチングおよびashingモデルであるように設計されています。これは、安全インターロックが不注意な動作を防ぎ、それは電子ストップスイッチが自動的に緊急時に機器を停止させます。さらに、必要な安全基準への準拠を確保するために、強化された電気および安全保護システムで設計されています。結論として、TEL TE 5000はエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。その高度な機能、高精度、信頼性の高い操作、ユーザーフレンドリーなインターフェースは、あらゆるエッチングとアッシングのニーズに最適です。
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