中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9181766 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、ウエハーや集積回路などを効率的にエッチングし、再現性を高めるエッチャー/アッシャーです。このマシンは、高度な光学分光光度計を使用して、優れたエッチングとアッシングのためにリアルタイムでプロセスパラメータを正確に測定します。TEL TE5000によって作成された超高真空環境は、空気中の粒子がエッチング/アッシングプロセスに影響を与えるのを防ぎ、信頼性の高い動作のための超クリーンな環境を提供します。さらに、アッシャーはより小さい特徴の最低の望ましくないエッチングを保障するために改善された選択性を提供します。TOKYO ELECTRON TE-5000は、最大温度850°C、最大チャンバー圧力0。5 torr、アッシャー帯域幅8kHzの基板サイズに対応しています。この装置は最大ステップ高さ20 µmで、プログラマブルコイルアセンブリを備えており、均一なエッチングと酸化物層の均一な減少を保証します。TE 5000では、各種ウエハ加工のプログラム埋め込みも可能です。TE-5000はプロセス原子炉室、プロセス室内制御ユニット（ICCU）、堅牢なヘビーデューティSEMカラム、高速動作化学供給システム、高性能マイクロ波発電機、リアルタイムガス注入ユニットなど、プロセスを最適化するためのさまざまなサブシステムを備えています。また、高速なデータ取得、インタラクティブな通信、プロセスの最適化、フレンドリーなグラフィックインターフェイスに特化したソフトウェアパッケージを利用しています。安全性と効率性を向上させるために、ウエハカセット傾斜機、微粒子回収用インプレーンサービスバッグフィルター（IPF）、フィルターとクリーナーツールを備えた超安全で騒音低減型エンクロージャをTE5000しています。また、THANM （Thermal Magnetron Technology）を活用して、ガス消費量を削減し、運転コストを削減することで、省エネルギーを実現しています。全体的TE5000は、ウェーハ、集積回路、およびその他のコンポーネントの精密なエッチングとアッシングのために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高度な光学分光光度計と幅広い最先端の機能を備えたこのマシンは、信頼性の高い操作と加工性の向上を保証します。