中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9068911 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、半導体回路のエッチング用に設計されたアッシャーまたはエッチャーです。数ナノメートルの精密エッチング障壁を可能にする高精度の機械で、超純粋なウェーハや薄膜で微細な線を作成します。エッチングプロセスは、ソフトウェア、ハードウェア、および真空制御ハードウェアの組み合わせによって慎重に制御されます。TEL TE5000は、乾式（プラズマ）または湿式（液体）プロセスのエッチング用に設計されています。ドライエッチングでは、プラズマガンと電極を使用してイオンと電子の反応環境を構築し、設計を基板にエッチングします。ウェットエッチングでは、液体化学物質に水を混ぜ、この溶液を基板に噴霧してエッチングを行います。TOKYO ELECTRON TE-5000は、大面積を一度にエッチング（バッチエッチングと呼びます）することも、パターン内の小さな部分（ステップアンドリピートエッチング）をエッチングしながら、制御された速度でウェーハ表面を横切ることもできます。この機械の真空は、プラズマと液体をウェーハから遠ざけ、さまざまなセンサーがエッチング工程を測定し、品質管理のためにプロセスパラメータを文書化することを保証します。エッチング処理は、パターン設定を生成するコンピュータプログラムで制御することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000は、ウェーハ上にマスキング材を重ねたり、リバースエッチング処理を行うことで複雑で複雑なパターンを生成することも可能です。このプロセスは、フラットフォトマスク（「リフトオフ」と呼ばれる）から実行可能なパターンを作成します。さらに、スパッタリング、化学蒸着、イオン注入などの二次プロセスも実行できます。TE-5000は、高解像度エッチングを迅速かつ正確に製造できる信頼性の高いエッチングシステムです。その微細な制御は、高度なソフトウェア制御システムと組み合わせた高度な設計によるものです。TE5000は半導体業界の精密エッチングにとって貴重なツールです。