中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293820984 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、TELが開発した高精度ウエハエッチャーです。半導体加工、MEMS、ディスプレイ加工、フォトニクスなど幅広い用途に適しています。TEL TE5000には、高度なプラズマエッチング技術と高度なフォトアシストエッチング技術が組み合わされています。このエッチャーは、非常に精密なエッチング制御を提供し、高アスペクト比を可能にし、さまざまなエッチングプロセスに優れた均一性とスループットを提供します。エッチャーには洗練されたチャンバー設計が施されており、最大5レベルのエッチングプロセスが可能です。TOKYO ELECTRON TE-5000は、高いスループットと高いプロセス精度を提供するために設計されています。このエッチャーは、最大200mm×200mmのプロセスチャンバー、および300mmまでのウェハサイズに対応するように設計されています。ウェーハの積み下ろしプロセスも自動で行うことができ、効率的なバッチ処理が可能です。TE-5000には、高度でユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスが装備されています。インターフェースにより、エッチングプロセスのセットアップと制御が容易になります。このソフトウェアを使用すると、ガス流量、圧力、ガス混合比などのさまざまなパラメータを監視および制御できます。また、ユーザーはプロセス中に収集されたデータを使用してエッチングプロセスを分析および最適化することができます。TEL TE 5000は、優れたエッチング均一性とプロセス再現性を提供するために最適化されたチャンバー構造で設計されています。RFソースとDCソースの両方が含まれており、プロセス変数を強力に制御できます。このエッチャーの他の機能には、急速な温度制御、オプションのウェハマッピング機能、高速ロボットアーム設計などがあります。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000は、高度で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなウエハエッチャーです。このエッチャーは、さまざまな半導体処理、MEMS、ディスプレイ処理、およびフォトニクス用途に最適です。TEL TE-5000は、洗練されたハードウェアとソフトウェアを通じて、優れた再現性と精度で優れたエッチング結果を提供します。