中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293772672 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、半導体産業の最先端エッチャー/アッシャーです。この装置は、困難な材料を加工しても、優れた精度と信頼性を提供するように設計されています。このシステムは、高精度のエッチング/アッシング機能、および精密切断、穴あけ、溶接アプリケーションを備えています。温度センサを内蔵し、優れた精度で自動温度制御を可能にします。TEL TE5000は、半導体生産に不可欠なエッチングとアッシングの両方を行うことができます。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルオペレーターインターフェイスを備え、プロセスパラメータを完全に制御し、エッチングとアッシングプロセスの両方のプログラムデータをインポート、変更、エクスポートするための統合ソフトウェアパッケージを提供します。TOKYO ELECTRON TE-5000は、エッチングとアッシングプロセスを効率的に行うための堅牢な真空冷却チャンバーを備えています。このチャンバーは、各層の均一なパターンを確保し、基板への加熱効果を最小限に抑えるのに役立ちます。さらに、クリーンで安定した環境を確保するために、遅延ラグコンプレッサーとフィルターを備えています。この機械は、プロセス材料の動きのための高解像度の6軸ロボットアームを備えています。このロボットアームは、高速で正確かつ反復可能な動きを提供し、優れたレイヤー分解能と優れたプロセス再現性をもたらします。ユーザーはまた、プロセス中に材料の流量を制御することができます。さらに、TE 5000には、多種多様なモニタリングシステム、データロギングシステム、入出力デバイス、およびエッチングとアッシングプロセスの両方の制御システムが装備されています。また、プロセス材料を保管して汚染を防ぐための大容量チャンバータンクも備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000は、各サイクルの前に完全に校正され、テストされており、品質と性能のための顧客仕様と業界標準を超えるように設計されています。このツールは、半導体業界の幅広い用途のための高精度と信頼性を提供します。
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