中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293758430 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、さまざまなプロセスに使用されるエッチャー/アッシャーです。フォトレジスト除去、金属エッチング、成膜に使用できるマルチステーションツールです。複数のアプリケーション向けに設計されており、少量および大量の生産ニーズに対応できます。TEL TE5000には、正確な制御と正確な結果をユーザーに提供するデジタル制御ボードが装備されています。このツールには、オンボード診断機器も装備されているため、メンテナンスとトラブルシューティングが容易になります。TOKYO ELECTRON TE-5000は、ロボットXYZモーションステージを備えており、負荷容量は最大200lbs、調整可能な高さ、X、 Y、 Z軸で最大45度の動作範囲を備えています。また、プログラマブルコントローラ、マルチヘッド、ビジョンシステム、ロボットアーム、ガスミキシングパネルなど、幅広い周辺機器を備えています。これにより、ユーザーはユニークな要件に合わせてユニットをカスタマイズできます。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000は、耐久性に優れたステンレス構造を採用しており、-30C〜+60Cの温度範囲、20〜90％の相対湿度範囲、5〜10。3 barの圧力範囲など、さまざまな条件に耐えられるように設計されています。このマシンは、最大直径8インチ（200mm）のウェーハに対応でき、さまざまな反応チャンバおよび工具構成と互換性があるように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000では、最大+160Cの調節可能な温度範囲、調節可能な加圧ガスチャネル、および繊細なプロセス材料を熱損傷から保護する高温安全システムも提供しています。このツールはまた、統合されたビジョンツールを提供しており、ユーザーはワーク表面の特徴を検査し、エッチングまたは蒸着プロセスを迅速に調整して品質の高い結果を保証することができます。TEL TE-5000の機能に加えて、半自動および自動ローディングシステムの広い配列と互換性があり、少量生産と大量生産の両方に理想的なソリューションです。このアセットは、フォトレジスト、シリコン、サファイア、その他の材料を含む多くの材料と互換性があり、多くのアプリケーションに対応する汎用性の高いツールとなっています。全体として、TE 5000は信頼性が高く効率的なエッチャー/アッシャーであり、さまざまなプロセスを処理するように設計されています。幅広い機能と周辺機器を備えたマルチステーションツールで、ユーザーは特定のニーズに合わせてモデルをカスタマイズできます。TOKYO ELECTRON TE5000は、精密プロセス制御、広い温度範囲、高い信頼性、生産効率を提供し、エッチングおよび成膜プロセスに最適です。