中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293747707 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、最高クラスの性能と生産性を提供する高度なエッチング/アッシング装置です。この半自動システムは、金属、SI （Silicon-on-Insulator）基板、およびその他の材料を含むさまざまな基板のコスト効率が高く信頼性の高い処理を目的としています。強力なSCS （Substrate Conditioning Unit）技術を使用することで、モーションコントロールマシンは優れた基板管理を提供し、エッチング前の表面処理にかかる時間を大幅に短縮します。このハイエンドエッチングプラットフォームは、小型基板の加工にも使用できます。TEL TE5000は、様々な基板上の複雑で微細な特徴のために、高品質のエッチング結果を生成するように設計されています。多軸高速X、 Y、 Zのスキャンステージを備えており、より高速で正確な基板移動を可能にします。このツールには高精度のレーザー干渉計も含まれており、熱膨張やその他の障害を効果的に補償します。クローズドループ・フィードバックにより、大きな基板サイズにわたって高いエッチングの一貫性を確保し、エッチング処理の優れた再現性と信頼性を実現します。アセットには、エッチング工程のプラズマバランス、圧力、温度を最適化および制御する高度な大気プラズマ源も含まれています。このモデルは効率的なレジスト除去装置を備えており、信頼性の高い均一なレジスト除去のために強化されたソフトベークプロセスを提供します。TOKYO ELECTRON TE-5000のエッチング速度は、先進のRF-ETP （RF Enhanced-Througput Process）技術によってさらに向上しています。この革新的なプロセスにより、エッチングに要する時間を短縮し、エッチング精度を向上させます。TOKYO ELECTRON TE5000の効率的な運用と容易なメンテナンスにより、過酷な生産環境での手動および自動システム統合に適しています。この低コストで高性能なエッチングユニットは、優れたコスト削減と比類のない性能を提供します。その優れたエッチング機能のため、TEL TE 5000は今日最も技術的に厳しいアプリケーションに推奨されています。