中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293745371 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000は、半導体製造プロセスで使用される高度なエッチャー/アッシャーです。アルミニウム、チタン、銅、タングステン、ヒ素、ホウ素、炭素、リンなど、さまざまな材料で高度で細かいパターンを製造するのに最適です。エッチャー/アッシャーは、高精度のエッチングおよびアッシング機能を備えており、生産プロセスにおける最高レベルの精度と有効性を保証します。TEL TE5000は、室温から800°Cまでの温度範囲で、エッチング速度とエッチング深さを正確に調整し、金属層と誘電層の両方で高いプロファイルを実現します。さらに、エッチャー/アッシャーは、物理的または化学的エッチング、および組み合わせプロセスを実行するように設定できます。この汎用性の高い機械は、接触および非接触リソグラフィ、スパッタ沈着、昇華エッチング、およびその他の高度な処理にも使用できます。その寸法は、1,400 x 1,800 x 1,900 mmのW x D x Hと1,600 kgの重量を含みます。直感的な10。4インチタッチスクリーンコントロールパネルを搭載し、使いやすさと利便性を実現しています。汚染リスクを最小限に抑えるために、エッチング領域から粒子や破片を遠ざける高効率のろ過システムも備えています。さらに、メンテナンスコストが低いため、より魅力的な購入オプションになります。TOKYO ELECTRON TE-5000は、エッチングジョブの開始から終了までの処理ステップをインテリジェントに自動化し、人件費と生産時間を大幅に削減します。高度なロジックを使用して、各プロセスサイクルを最適化し、エラーを最小限に抑え、より高い生産歩留まりを達成します。最後に、薄膜加工の課題を解決する上での有効性から、優れたライフサイクルコストを提供します。