中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236837 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATCは、精密で再現性のあるプロセス条件を提供するために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。3軸翻訳ステージを備えたプロセスチャンバーを搭載し、幅広いエッチングおよびストリッピング用途に高精度な結果を提供するように設計されています。自動制御装置は、信頼性と再現性の高い結果を提供しながら、優れたプロセス再現性を提供します。このエッチャー/アッシャーは、高速チャンバーの避難、空気の流入、および粒子除去を提供するために最適化された真空システムを備えています。高度な圧力制御ユニットは、エッチングプロセス全体にわたって正確かつ再現可能な圧力条件を保証します。このエッチャー/アッシャーには1000 WのRF電源が搭載されており、さまざまな用途で幅広い周波数で動作できます。マルチポジション基板ヒーターは、基板全体にわたって優れた温度均一性を提供します。直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）により、簡単な機械構成とデータ記録が可能です。このエッチャー/アッシャーは、ウェット開発システム、in-situエンドポイント検出器、in-situスカベンジャー、in-situバックサイドウェハクリーナーなど、さまざまなオプションと互換性があります。TEL TE 5000 ATCは、使いやすく設定性が高いだけでなく、真空インターロック、爆発性のある大気センサ、ロードロック安全インターロックなどの統合安全システムも備え、安全性を考慮して設計されています。また、エッチングまたはストリッピングプロセス中にRFパワーと対応する基板処理パラメータを監視するプラズマモニタリングモジュールなど、さまざまなRF監視システムも含まれています。RFパワーの精度の向上とプロセスの均一性は、プロセスの再現性をさらに高めるのにも役立ちます。TOKYO ELECTRON TE 5000ATCは、再現性と信頼性の高い結果を提供するために設計された非常に強力なエッチャー/アッシャーであり、幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。その高度な機能は、優れたプロセスの均一性と監視機能を提供しながら、再現性と信頼性を確保するのに役立ちます。