中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142638 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATCは、基板表面から材料の層を除去するために使用される反応イオンエッチャー（RIE）です。このデバイスは、高速材料エッチングと高精度加工を提供する高度なトーチチャンバー（ATC）装置を備えています。このシステムは、高温水素系プラズマと高度なトーチチャンバー設計を組み合わせて、高レートで低ダメージのエッチング処理を提供します。TEL TE 5000 ATCの主要部品には、プラズマチャンバー、ターボ分子ポンプ、アドバンストーチチャンバー（ATC）があります。プラズマチャンバーは、高度なスリットシール構造で構築されており、最大エッチング面積は395mm×278mmです。ターボ分子ポンプは高真空を作り出すことによって部屋を避難させるのに使用される高性能ポンプです。最後に、ATCは高温高効率の水素ベースのプラズマを使用して強力なエッチング処理を行います。このユニットはComputer Numerical Control （CNC）ソフトウェアによって制御され、ソフトウェアはプロセス制御、レシピライブラリ、アラームスキーマ、データロギング機能などのさまざまな機能を提供します。このマシンには、最適化されたエッチングプロセスを提供する温度比例フィードバック供給（TPFS）も付属しています。TOKYO ELECTRON TE 5000ATCは、高温での動作に適した高速エッチング処理を提供します。このデバイスは、深い構造、狭い特徴、および広い領域の反復可能で正確で高速なエッチングおよびクリーニング用に設計されています。ポリマー、シリコン、ヒ素ガリウム、ステンレス、チタンなど多くの硬質金属をエッチングすることができます。このデバイスは、携帯電話、医療機器、および電子部品の製造に使用されます。全体的に、TE 5000ATCは、多くのアプリケーションに適した機能を備えた高度なエッチングおよびクリーニングツールです。このデバイスは操作が簡単で、繰り返し可能で正確なエッチング処理を提供します。高温での高速・高精度なエッチングが可能です。