中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142630 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATCは、材料を大量に加工するための高度なエッチャー/アッシャー装置です。シングルウェーハエッチングチャンバーを使用して、最大直径200mmまでの基板を1時間あたり最大50ウェーハの速度で処理します。このシステムは、マルチバケットロックステーション、高安定性エッチングチャンバー、低圧プラズマエッチングソース、クローズドループアベートメントユニット、およびダイアフラムポンプとフィルターからなる排気機で構成されています。エッチングチャンバーは均一な温度と圧力制御を備えているため、より簡単で複雑な反応性ガス制御を必要としません。TEL TE 5000 ATCは高度な監視機能を備えた統合コンピュータツールを備えています。それはHPLCの等級のCF4かNF3ガスとの使用のために設計されています。アセットには、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、パッシベーションなどのいくつかのプロセス手順を1サイクルで含めることができます。プロセスパラメータはすべてのプロセス実行で記録され、結果はターゲットレシピと比較できます。このモデルは、高精度パターンエッチング用に設計されており、選択性、エッチングレート、精度などのエッチングパラメータを正確に制御できます。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC装置は、金属からシリコンウェーハ、絶縁膜まで、さまざまな基板に対応できます。また、ウェーハやカセットの自動ロード/転送システムも備えています。精密なエッチング室圧力制御のための自動ポンプ制御を備えています。このユニットは、高いスループットプロセス能力を備えており、製品の一貫性のための高い再現性を備えています。カメラを内蔵した高解像度の可視化機能を備えています。機械は最低のダウンタイムの信頼できる操作のために設計されています。それに作り付けの信頼できる回路およびプロセス監視および作り付けの安全連結用具があります。この資産は、メンテナンスとクリーニングを容易にするように設計されており、データロギングと記録保管のためのパーソナルコンピュータと接続することができます。このモデルは、適用されるすべての安全および環境規制を満たすように設計されています。TE 5000 ATCは、高容量処理のための信頼性の高い高度なエッチャー/アッシャー装置です。エッチングプロセスを正確に制御するために設計されており、監視機能を備えた統合コンピュータシステムも備えています。それは容易な維持の安全で、信頼できる単位です。これは、基板の範囲に適しており、一貫した信頼性の高い結果を提供することができます。