中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC（エッチング/アッシング）装置は、半自動、多目的、高度なエッチングおよびアッシング・システムで、幅広い高性能エッチングおよびアッシング・プロセスを提供します。TEL TE 5000 ATCユニットは、優れたエッチング性能とアッシング性能、および最大の生産性を提供するように設計されたモジュラーマシンです。このユニットは、複数のサンプルを同時に処理するための4つの異なる実験ゾーンを備えています。4つのプロセスは、任意の実験の個々の要件を満たすために完全にカスタマイズすることができます。また、TOKYO ELECTRON TE 5000ATCはモジュールを追加して簡単にカスタマイズすることができ、さらに機能を拡張することができます。このツールは、精密制御されたHTタイプの電子銃によって駆動され、エッチングとアッシングの両方が可能です。タッチスクリーンコントロールとリアルタイムプロセスモニタリングを備えた直感的なユーザーインターフェイスにより、使いやすいです。金属基板のエッチング率を向上させるための改良されたプラズマジェネレータと、自動ローディングとアンロードのためのバッチローダーを備えています。TE 5000 ATCは、シリコン、化合物半導体、金属など、さまざまな材料のエッチングとアッシングのための高度に自動化されたツールです。それは現代的なエッチング/灰の処理の条件なら反復可能な、正確にエッチングおよび灰の結果を作り出すように設計されています。TEL TE 5000ATCには強力なプロセスとデータ管理機能が搭載されており、ユーザーはレシピやその他のプロセスパラメータを保存および取得できます。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATCは、多種多様なガスと精密な配送システムを使用して、正確で再現可能なエッチング/灰の結果を提供します。ガス供給は、一貫した反復可能なエッチング速度を確保するために、積極的に制御および監視されます。ユニークな圧力フローコントローラは、チャンバー内の複数のガスの正確な圧力制御を可能にします。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATCは、数多くの材料の精密なエッチングとアッシングのための強力で多機能なツールです。TELの高度なプロセス機能により、シリコン、化合物半導体、金属を含む多種多様なエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと信頼性の高いプロセス制御により、一貫して正確な結果を必要とする研究者やエッチング技術者にとって理想的なソリューションとなります。