中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293830626 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATCは、高精度で多機能なドライエッチャー/アッシャーです。フォトリソグラフィ、高度なエッチング、アイソレーション、ランプアニーリング、サーマルアニーリングなど、さまざまな用途に最適です。エッチャーは、ハイエッチレート、基板制御、クリーンプロセス、およびサイクルタイムを短縮するアプリケーション設計など、さまざまな機能と機能を提供します。エッチャーは、特許取得済みの電磁支援電子ビーム（EMEBE）源を使用してチャンバーをきれいにし、サイクル時間を短縮し、一貫した処理を実現します。EMEBEの源はまたエッチング部屋でプラズマを発生させるのに使用されます；これにより、汚染物質や残留物を容易に管理することができます。エッチャーには自動基板実装装置が搭載されており、素早く簡単な基板配置と真空チャンバーシールのメンテナンスが可能です。このシステムには調整性も含まれており、各基板を独立してまたは集合的に調整することができます。TEL TE 5000 ATCは熱およびRFシステムを制御しています。RFユニットは、多種多様な周波数を保持することができ、デュアル周波数動作を同時に行うことができます。RF機械はまた基質および工作物の表面の温度を正確に管理できます。ET 5000 ATCは、粒子管理を強化し、エッチング時間を短縮するための高度な圧力および温度制御を備えています。大気圧から亜大気圧まで様々な圧力レベルを備え、安全性を高めるための複数の安全設定を備えています。このチャンバーには、温度、圧力、流量を監視するためのIRカメラや熱電対など、さまざまなセンサーが装備されています。センサーはリアルタイムのデータ収集を提供し、ユーザーはリアルタイムでパラメータを監視および調整することができます。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATCは、さまざまなドライエッチングおよびアッシング用途に最適で、さまざまな基板や材料で優れた結果を提供します。高精度のエッチングとアニール機能は、高度なプロセスと組み合わせることで、ハイエンドの研究および生産アプリケーションに理想的なツールとなります。