中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9269143 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON TE 480は、高度な高精度アプリケーションとプロセスを採用し、最高品質の部品を製造する半導体製造およびマイクロエレクトロニクス向けのエッチャー/アッシャーです。高密度、高アスペクト比のエッチングが可能な、高精度、高信頼性、再現性の高いバックエッチングプロセスを提供します。TEL TE 480は、独自のTEL/TOKYO ELECTRON制御システムを使用して、エッチング処理を管理し、高度なアルゴリズムを使用して、エッチング時間を最適化し、より小さな部品の歩留まりを向上させます。TOKYO ELECTRON TE 480は、200ミクロンまでのエッチング深度を選択可能で、エッチング能力は前任者よりも最大30％高精度です。さらに、プロセスの柔軟性を高めるために、2リットルから15リットルまでのさまざまな容器サイズと、さまざまな温度制御システムを備えており、クリーンルームプロセスを含むさまざまなアプリケーションでの使用を可能にします。さらに、ウェーハの自動搬送やマガジンシステムにより、高いスループットと稼働時間とウェーハの安全性が向上し、エンドポイント画像（EPP）システムはエッジなどの不規則性を検出することができ、自動停止位置を高精度に確保することができます。ソフトウェアの面では、TE 480は、堅牢なプロセス管理とレポート作成、リアルタイム調整など、さまざまなモニターおよび分析機能を備えています。また、さまざまなエッチングのニーズに対応した幅広いレシピが用意されており、赤外線光源機能などの追加機能により、高精度エッチングのための高度な技術を活用することができます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 480エッチャーは、今日の洗練されたマイクロエレクトロニクス業界のニーズを満たすように設計されており、高品質のエッチングとアッシング結果を提供するための設備が整っています。