中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9098935 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480は、表面の酸やプラズマエッチングを高性能にするエッチング/アッシャーです。このエッチャーは、片面基板と両面基板の両方を同じプロセスで処理できます。チャンバーはポリテトラフルオロエチレン（PTFE）でコーティングされており、エッチングされる部品に粒子が付着するのを防ぎます。エッチャーには、過熱エッチャントを検出した場合にプロセスをシャットダウンする機能など、自動的に組み込まれた安全機能も装備されています。エッチャーには、チャンバーを監視する自動ウェーハ処理装置があり、ウェーハの正確なロードとアンロードを保証するのに役立ちます。また、高密度イオン化ガス（IG）を使用してバリを残さずに基板を迅速にエッチングするイオン化ガス（IG）エッチングシステムを備えています。IGエッチング法は、デバイス上の精密で複雑なパターンをエッチングするのに最適です。また、IGエッチングユニットはエッチング速度を向上させ、各デバイスのエッチングに要する時間を短縮します。TEL TE 480エッチャーは、大容量チャンバー（4。2 "X 4。5" X 10"）を搭載し、直径300mmの60ウェハを搭載しています。また、100〜600kHzの周波数範囲を持つ高出力RFジェネレータと、エッチング時の基板への効率的な電力出力を可能にする多周波電源制御機を備えています。エッチャーには、絶縁RFパワーツールと最大エッチング出力4kWを装備しています。コンピュータ制御のアセットは、複数のウェーハを同時にエッチングするようにプログラムすることができ、エッチング速度をさらに向上させることができます。エッチャーには、設定値を超えるとユーザーに警告するリアルタイムモデル圧力アラーム、異常ガス漏れを検出する装置チャンバー漏れアラームなど、プロセスを監視するさまざまなシステムがあります。また、設定された範囲内で室温を一定に保つ室温制御システムを備えています。このエッチャーは、ユーザーフレンドリーなインターフェースで操作と維持が簡単にできるように設計されています。自動安全機能に加えて、エッチャーには高品質のエッチングを保証するトレーサビリティ制御手順も付属しています。使用したエッチングレシピやエッチングされたサンプル数など、ウェハの加工履歴を記録します。また、材料や機器の故障による故障発生を低減し、問題のある基板のリアルタイム監視と再処理を可能にします。TOKYO ELECTRON TE 480エッチャーは、信頼性が高く、高性能で使いやすいエッチャーで、さまざまな基板上の複雑なパターンをエッチングするのに最適です。さまざまな安全機能、トレーサビリティ制御手順、自動化されたウェーハハンドリングツールにより、最小限のリソースを使用しながら、精度と速度でエッチングすることができます。