中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #9226078 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGCは、コンピュータ、ゲーム機、家電、その他の端末向けにマイクロエレクトロニクスを製造するエッチャー/アッシャーです。このタイプのエッチャー/アッシャーは、高密度アプリケーションでの精度と精度のために設計されています。TEL TE 480 HGCは、シリコンウェーハの直径6（または8）インチの加工が可能な、約177 x 159 mmの大型シングルピースウェーハ表面積を有しています。酸化からエッチング/アッシング、様々な金属蒸着、イオンインプラント、沈着まで、幅広い生産プロセスが含まれており、このエッチャー/アッシャーは最も典型的な微細加工作業に対応できます。TOKYO ELECTRON TE 480 HGCは、処理出力の均一性を確保するための高度な制御を提供します。高いガス処理効率（HGE）により、エネルギー効率が向上します。また、プロセス要件を微調整するためのEPAクラスの温度および圧力制御システムも備えています。2段階の主要な調節可能な圧力システムはさらに10の厚さを付着かエッチングの均一な層の確かめます。TE 480 HGCは、最先端の絶縁材を使用して、均一な熱分布と熱性能を向上させます。これは、最適なプロセス温度を決定するために、ユニットの下部デッキにある温度センサで行われます。その静かな操作により、マシンはあらゆる環境に収まるようになります。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGCは直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。エッチング深さ、エッチング速度、圧力、ガスタイプなど、多くのパラメータで簡単にプログラムできます。手動またはコンピュータ制御の監視システムからプログラムされ、ほとんどのプロセスに適切なレシピを選択できます。最後に、TEL TE 480 HGCは半導体業界の規格に準拠しており、ANSI/SEMI-S2-98 SMC-1000規格に合格しています。これにより、機械のすべての部品と操作が最高品質の基準に従って設計およびテストされることが保証されます。TOKYO ELECTRON TE 480 HGCは、最先端の機能を備えた精密で正確なマイクロマシニングソリューションを提供するために設計された信頼性の高い自動エッチャー/アッシャーです。高密度アプリケーションに適しているため、優れたマイクロエレクトロニクス製品を製造するメーカーにとって理想的な選択肢となります。