中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #293592867 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGCは超高精度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。中型荷重容量の中精度機器です。このシステムは、ロードロックチャンバー、プラズマ源、基板発熱体、エッチングチャンバー、裏面冷却ユニット、排気ユニットで構成されています。ロードロックチャンバーには、基板の入出荷用のロードポートとゲートバルブが装備されています。このプラズマ源は、エッチング室で高密度プラズマを生成するための誘導結合無線周波数（RF）源です。基板加熱素子を使用して、エッチングチャンバー内の基板の温度を正確に制御できます。エッチングチャンバーは、最大500°Cのプロセス温度を維持するように設計されているため、幅広いエッチングプロセスに適しています。エッチングチャンバーには、プロセスガスをチャンバー内に均一に分散させることができるように、穴があいた上下プレートが装備されています。チャンバーには、基板全体の均一な温度を確保するための統合冷却ユニットもあります。裏面冷却ユニットはエッチング工程で基板を冷却するために使用されます。ユニットの冷却効果は、基板サイズ、エッチングプロセス、およびプロセス条件に応じて調整可能です。排気ユニットは、プロセスチャンバーを清潔に保ちながら、プロセスガスが環境に逃げないように設計されています。上記の機能に加えて、TEL TE 480 HGCは2つのインターフェイスが装備されています。Industry 4。0およびExtended Service Control （ESC）。Industry 4。0インターフェイスは、ユニットとオペレータ間の安全な通信を提供し、エッチングプロセスが正しく動作していることを確認するのに役立ちます。拡張サービスコントロール（ESC）モジュールにより、リモートメンテナンス、機械診断、アップグレード機能が可能です。TOKYO ELECTRON TE 480 HGCは、中精度エッチングおよびアッシング用途に最適です。このツールの高精度と信頼性は、高度で使いやすい制御インタフェースと組み合わされ、幅広い半導体関連アプリケーションに最適です。
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