中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HG #9276697 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGは、電子半導体ウェハの加工に特化した高性能エッチャー/アッシャーです。このリソグラフィ装置は、ウェーハ表面への薄層の精密で制御された成膜を提供し、優れた結果を得るための最高の精度を提供します。TEL TE 480 HGは、光学イメージングとスキャンレスフォトリソグラフィという2つの技術を組み合わせた、第2世代のポケットマスクライティング（PMW）技術を採用しています。この組み合わせにより、ユーザーはリピート数の少ないマスク露出を迅速に完了し、従来のシステムよりも高い精度を実現できます。さらに、PMW技術は、さまざまなリソグラフィ露光レシピを使用する柔軟性をユーザーに提供します。TOKYO ELECTRON TE 480 HGは、高効率なシステム構成により、従来のシステムよりも生産性が飛躍的に向上します。高解像度、高精度、低ノイズのデジタル制御サーボモータを使用して、ウェハチャックを正確かつ迅速に移動させます。これは「ぐらつき」を減らし、単位のすべての部分の摩耗を減らします。全体的な高スループット動作時間と組み合わせることで、市場で最も信頼性の高いエッチングシステムの1つになりました。TE 480 HGはまた、ウエハ表面全体にわたって均一で一貫した薄膜蒸着を保証する独自の誘電成膜技術を使用しています。この誘電成膜技術は、成膜が均一で正確であるため、歩留まりの向上とコストの削減にもつながります。このマシンには、ユーザーにすべてのエッチングパラメータに対する最高の制御を提供するためのさまざまな機能が装備されています。正確なリアルタイム監視機能と、簡単な設定とセットアップのためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。このツールには、さまざまなインターロックを装備し、ヒューマンマシンインターフェイス（HMI）によって監視して、安全でエラーのない操作を保証することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGは、高度なウエハレベル処理に有効なエッチング資産です。高精度、高スループット、コスト削減により、先進的なデバイスを実現し、優れた機能セットで安全で信頼性の高い環境を提供します。