中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9397360 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TACTRASは、半導体製品の製造における精密エッチングおよびストリッピング機能を提供するために設計されたエッチャー/アッシャーです。ヘビーデューティ製造環境向けの信頼性と堅牢な設計を備えた、高スループットで完全自動化された機器です。システムは2つのコンパートメントで構成されています。1つ目は、実際のエッチングが発生する原子炉室を含むために使用されるロードロックチャンバーです。ローディング機構は、基板の素早く簡単なローディングとアンロードを容易にします。基板はエッチング溶液に浸漬され、その後攪拌され、特定のプロセスパルスでガス混合物にさらされます。ウエハータイプの基板から13インチのサンプルまで、大型基板をエッチングすることができます。2番目のチャンバーはコントローラステーションで、オペレータはエッチングプロセスのさまざまなプロセスパラメータを入力できます。マシンは、特定の製品要件に対応するために調整することができるプロセスパラメータのフルレンジを提供しています。パラメータは、所望の結果を達成するために時間、温度、ガスと溶液の比率、処理電圧や他のパラメータを制御するために設定することができます。TEL Tactrasは高度なツール統合により、高度なデジタル制御を提供します。イーサネット接続は本番監視とデータ収集を可能にし、データベース資産は正確なデータ記録を提供します。このモデルは他のエッチャーやアッシャーとも接続でき、生産プロセスをさらに合理化することができます。装置はULリストされ、RoHs指令に従い、オペレータに模範的なレベルの安全性と信頼性を提供します。TOKYO ELECTRON TACTRASの自動化されたシステムは、製造プロセスが非常に一貫しており、最も複雑な製品でも高品質な結果を提供します。このユニットは、優れた精密エッチング/アッシング機能を提供し、現代の製造の厳しい要求に応えるように設計されています。