中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9304349 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TACTRASは、半導体ウェーハ加工用に設計された次世代エッチャー/アッシャーです。エッチングとストリッピングの両方を実行できる費用対効果の高いソリューションです。このマシンは、高度なパターン最適化アルゴリズムと複数の計測機能を利用した独自のプロセス制御装置を備えています。高速で高性能なダイレクトドライブモータを搭載し、高速な位置決め精度を実現しています。TEL Tactrasは高速ナノ秒サーボシステムにより、80nmまでのエッチングが可能で、ウエハ表面の微細なパターニングが可能です。TOKYO ELECTRON TACTRASは、温度、圧力、流量、電力などのプロセスパラメータを制御することにより、精密なエッチングとストリッピングを実現します。プロセスの安定性を確保するために、ガスフローモニター、マルチゾーンウェーハ温度制御ユニット、イオン化ガス分布を正確に制御するマルチフェーズプロセスプラズマ制御機能を搭載しています。Tactrasにはマルチモジュール機能もあり、オペレータは特定のプロセス要件を満たすために構成を変更することができます。オープンアーキテクチャをサポートし、さまざまな化学物質の研究開発をサポートしています。また、サードパーティ製ソフトウェア、検出器、デバイスの統合もサポートしています。TEL/TOKYO ELECTRON Tactrasは、ユニバーサル電源、デュアルチャンバー設計、および高精度かつ再現性の高いプロセス結果を得るための安定した環境を提供する先進的な冷却機を備えています。5面チャンバー設計により、ウェーハの位置決めが柔軟になり、複数の方向や角度からサンプルを処理することができます。TEL Tactrasには直感的なタッチスクリーンコントロールインターフェイスもあり、迅速で簡単なプロセス設定が可能です。触覚ナビゲーションにより、オペレータはエッチャーのパラメータを簡単に制御することができ、さらにプロセスの詳細な視覚的フィードバックを提供します。最後に、TOKYO ELECTRON Tactrasは、長寿命で安定したパフォーマンスを実現するために設計されています。効率的な放熱ツールを備えており、頻繁なメンテナンス作業を必要としません。また、幅広いウエハサイズをサポートし、正確なプロセス制御のための校正アセットを内蔵しています。