中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9286335 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9286335
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Etcher
EFEM
TM
Power racks
AC Racks
(3) Chambers
Accessories
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TACTRASは、さまざまな材料の信頼性、安定性、高精度加工を実現するエッチャー/アッシャー装置です。このシステムはインテリジェントなセットアップとプロセスモニタリングで完全に自動化されているため、ラボの誰もがその正確なパフォーマンスから恩恵を受けることができます。TEL Tactrasは、CAEの破片、粒子に高度なロボティクスで設計され、効率的なコーティングプロセスを実行します。高精度な表面層プロファイルの自動焦点調整機能を搭載し、手の届きにくい部分でも優れたエッチング仕上げを実現します。TOKYO ELECTRON TACTRASは、基板の高速かつ効率的な脱気を可能にする独自の2段真空ユニットを備えており、処理時間の短縮を実現しています。ユーザーエクスペリエンスはさらに強化され、読み取りやすいLCDディスプレイにより、完了までの残り時間やレシピの詳細なリストなど、リアルタイムの処理状況情報を提供します。パスコードロックと緊急停止スイッチを内蔵することで、安全性が向上します。機械は材料の実験室および大学研究部を含むいろいろな実験室の設定の使用にとって理想的です。タクトラは、銅、金、その他の貴金属や合金を処理することができます。スパッタと熱蒸着の両方の技術を用いてエッチングを行い、高い均一性と精度を実現します。また、2段の真空工具により、シリコンなどのエッチングが困難な材料の優れた加工が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON Tactrasは、様々な用途に対応しています。本アセットの組み込みガスモデルは、フォトマスク開発者が基板上にパターンをエッチング（MEMSデバイスパターンなど）することができることを意味します。AR/VRエッチングも可能で、切削時間を最小限に抑えた幅広い素材の加工精度と分解能を向上させます。TEL Tactrasはメンテナンス性が低く、さまざまな自己診断機能を備えており、エラーを迅速かつ正確に検出できます。そのモジュラー設計はまた、ユーザーが必要に応じて簡単に機器を拡張することができます。TOKYO ELECTRON TACTRASは、経験豊富なユーザーと経験のないユーザーの両方のためのソフトウェアツールの選択肢が付属しています。そのため、Tactrasは、さまざまなエッチングおよびコーティングのニーズに対応する強力でユーザーフレンドリーなソリューションを提供します。
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