中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293667129 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactrasは微細加工・半導体加工のエッチャー/アッシャーです。高精度で高品質なエッチングとアッシャー基板を費用対効果の高い方法で設計されています。TEL Tactrasは、ポリシリコン、金属、シリカ、酸化物、さらにはいくつかの有機基板など、さまざまな材料をエッチングしてアッシングすることができます。低圧、低温、高精度のプラズマ生成装置を備え、優れたエッチングおよびアッシング制御を提供します。このシステムは、高精度で再現性のあるカスタマイズされたプロセスを可能にする多種多様なエッチャーとアッシャーによって駆動されます。エッチャー/アッシャーには、基板の自動ロードとアンロードを可能にするロードアンロードステーションが含まれており、最大スループットのためにロード/アンロードサイクルが結合されていることを保証します。TOKYO ELECTRON Tactrasにはステレオミクロスコープも備えており、エッチングやアッシングのプロセスを直接観察することができます。革新的なセルフクリーニングユニットを装備し、エッチャー/アッシャーが常にきれいで動作するようにしています。このマシンは、簡単なセットアップ、操作、およびエッチングおよびアッシング条件の監視を可能にするユーザーフレンドリーなソフトウェアによって制御されます。Tactrasエッチャー/アッシャーは、半導体製造や高精度の微細加工などの産業用途に最適です。優れた信頼性と再現性を実現し、高い歩留まりと高品質な製品を実現します。このツールは、信頼性が高く効率的で費用対効果の高いソリューションを提供し、エッチャー/アッシャーに最適です。
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