中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #9252286 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigusは、半導体製造プロセスにおいて優れたエッチング性能とスループットを提供するエッチャー/アッシャーです。TEL Tactras Vigusは、独自のデュアルチャンバー電気化学エッチング装置（ECE）を使用して設計されており、ウェーハの処理時間が高速で、正確で一貫したエッチングを提供します。この汎用性の高いエッチャーは、SiC、 SiGe、 III/V化合物、Cuなどの多様で複雑なプロセスの処理に最適です。このエッチャーは、ユニークなデュアルチャンバーシステムで設計されています。ECEユニットは、異なるエッチングレシピとチャンバー温度を可能にし、最適なエッチング結果を保証します。さらに、このマシンは、自動化されたプロセスを通じてプロセスの最適化とプロセス制御を可能にします。TOKYO ELECTRON TACTRAS VIGUSは、非常に正確で一貫したエッチング結果を提供します。このエッチャーは、1時間あたり最大25ミル（635ミクロン）のエッチングが可能です。さらに、ECEツールは、エッチングプロファイルの中でも最も困難なウエハ全体の優れたエッチング均一性を提供します。このエッチャーはユーザーフレンドリーで信頼性が高く、統合された安全性や環境制御などの幅広い機能を提供します。その他の機能としては、リアルタイム監視および分析ツール、およびクリーニングと除染のための組み込みオートクレーブ機能があります。また、エッチングチャンバーは独立したローディングおよびアンロード機構を備えており、すべてのプロセスにおいて最大限の安全性と信頼性を確保しています。Tactras Vigusの制御資産は直感的に設計されており、迅速で簡単なセットアップと操作が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigusは、精密で信頼性の高いエッチング処理を必要とするあらゆる半導体アプリケーションに最適です。その革新的なデュアルチャンバーモデルは、エッチング要件の広い範囲を満たすように調整され、最大限の効率と柔軟性を提供します。このエッチャーは、高いスループット率と信頼性の高いプロセス制御を提供し、生産目標の達成に役立ちます。