中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #293818724 を販売中

ID: 293818724
Dielectric etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigusは、集積回路(IC)およびフラットパネルディスプレイ(FPD)基板の製造用に特別に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。最先端のプロセス制御と積極的なサイクルタイムを組み込み、優れた歩留まりを提供するハイスループットプラットフォームです。TEL Tactras Vigusは、堅牢な機能セットにより、幅広い顧客要件を満たすように設計されています。TOKYO ELECTRON Tactras Vigusエッチャー/アッシャーは、自動化を可能にし、幅広いICおよびFPD処理プロセスに柔軟性を提供します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えたオープンなプラットフォームアーキテクチャを備えており、迅速なセットアップと操作が可能です。高度なプロセス制御技術を使用することで、Tactras Vigusは信頼性と再現性の高いエッチングプロセスを毎回初めて提供することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigusのプロセスの柔軟性により、ユーザーは最高の結果を維持しながら、小さな基板から大きなパネルまで、すべてをエッチングすることができます。TEL Tactras Vigusは、利用可能な作業スペースを最大化するコンパクトなフットプリントを備えています。マルチビームレーザーアブレーションを使用して、より高い精度と優れたエッジ定義を実現します。その高い基板スループットにより、生産性が向上します。ウェーハの自動ローディングとアンロードは、統合されたCompact Loadロックモジュールによってさらに容易になります。TOKYO ELECTRON Tactras Vigusは、アルミニウム陽極酸化、EDM、アブレーション、反応イオンエッチングなどのプロセスに対応できます。堅牢なエッチングソリューションが求められる自動車、通信、マイクロ波エレクトロニクス、医療機器などの過酷な環境アプリケーション向けに設計されています。エッチングモジュールをワークベンチレイアウトに配置し、柔軟なリアルタイムエッチングパターンを提供します。Tactras Vigusの高度なプロセス制御プログラムは、毎回反復可能で正確なエッチングを保証します。タッチスクリーンのGUI、表示インジケータ、設定は、オペレータに直感的なユーザーインターフェイスを提供します。これにより、パラメーター設定を素早く調整し、エッチング処理を微調整することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigusでは、プロセス条件や基板の変化に合わせたオンザフライのエッチングパラメータ調整も可能です。TEL Tactras Vigusは、再現性と正確なエッチングプロセスを確保するための強力なプロセス制御技術を内蔵しています。暗号化されたハードドライブ、自動ウェハ識別、環境モニタリング、温度、圧力、電圧のモニタリングなど、TOKYO ELECTRON Tactras Vigusはエッチングのニーズに最適です。コンパクトなフットプリント、柔軟性、信頼性により、Tactras VigusはICおよびFPD基板の高度なエッチングに最適です。
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