中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5 #293802353 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5は、シリコン、金属、セラミックスなど様々な素材の多層パターンを高精度にエッチングするために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。Vigus RK5は、高速データプロセッサとメモリ機能を搭載し、高度なレイヤー制御を提供し、複数のマスク層エッチングと再エッチング操作を実行することができます。Vigus RK5は、非常に薄いフィルムをエッチングするための優れたプロセス能力を提供します。装置のクローズドループシステムとフィードフォワード機能は、優れた温度制御と一貫して高いエッチング精度を提供します。さらに、微調整されたプラズマユニットを備えており、複雑な形状のフィルムを均一にエッチングします。また、Vigus RK5は複数のガスジェット機能を備えており、残留物のない処理を可能にし、使用されるガスの量を最小限に抑え、より効率的なエッチング処理を実現します。Vigus RK5エッチャー/アッシャーには、内蔵のインターロックや複数の専用ガスセンサーなどの安全機能も備えており、機器の安全な操作を可能にします。それにまた最大の長寿および信頼できるプロセス質を保障する堅牢で、十分にモジュラー構造があります。この機械には、効率的な放熱と高い生産性を提供する長寿命プラズマ電源も装備されています。Vigus RK5は、エッチングプロセスソリューションに優れた性能とコスト効率を提供します。直感的なインターフェイス、ユーザーフレンドリーな機能、強力な機能により、操作とメンテナンスが非常に簡単になります。また、最先端の技術を駆使し、難易度の高い材料や構造物の加工を可能にします。さらに、Vigus RK5は低騒音で、最新の処理環境に簡単に統合できます。全体として、TEL Tactras Vigus RK5エッチャー/アッシャーは、幅広い材料における複雑な構造のエッチングに最適です。高度なエッチング機能、安全機能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、堅牢な構造、長寿命プラズマ電源により、高精度で効率的で費用対効果の高いエッチング処理が可能です。