中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649557 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4は、高度な機能で最高レベルの精度を提供するように設計された、市場で広く使用されているエッチャー/アッシャーです。この装置は、エッチングとアッシングプロセスの両方に最適な機能を備えています。TEL Tactras Vigus RK4の最初のユニークな特徴は、キャリアガスと最大2つのガス混合物を同時に供給することができ、幅広いプロセスを可能にするガス供給システムです。また、ガス供給ユニットはタイミング開口部を備えており、チャンバー内のアルゴンの流れと反応時間を簡単かつ正確に制御することができます。さらに、RK4は自動温度制御サイクリングが可能で、プロセス温度を正確に管理できます。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4には、エッチング加工用の製品を取り外して運ぶ2つの回転プラテンアセンブリを備えた真空チャンバーも装備されています。これらのアセンブリは直径4インチまでプロダクトを受け入れ、プロセスチャンバーのプロダクトの急速なローディングそして荷を下すことを促進するように設計されています。Tactras Vigus RK4の自動圧力制御機も印象的な機能で、エッチングまたはアッシングプロセス中に分割秒圧力管理と制御を可能にします。この制御ツールを使用すると、チャンバ圧力をリアルタイムで調整および校正することができ、可能な限り最も正確で一貫した結果が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4には5点圧力測定モデルが搭載されています。TEL Tactras Vigus RK4は、エッチングまたはアッシングプロセス中の材料損傷や不飽和のリスクを最小限に抑えるために、最大限の精度と精度で設計されています。この装置は、温度と周囲条件を正確に監視してプロセスの安定性を向上させることができる定期的な加熱/冷却システムを提供します。さらに、TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4には自動安定化ユニットが搭載されており、プロセスの変動を低減し、最適な結果を得ることができます。要約すると、Tactras Vigus RK4はエッチングとアッシングのプロセスで最高レベルの精度を提供するように設計されています。ガスデリバリーマシン、オートスタビライゼーションツール、5点圧力測定アセットなどの機能を備えているため、エッチングおよびアッシングプロセスで非常に正確で一貫した結果を生み出そうとするラボにとって、RK4は理想的な選択肢です。
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