中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649553 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3は、115nm （0。1 μ m）レベルの先端材料の加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。化学物質を含まないプラズマベースのエッチング技術により、トレンチ、コンタクトホール、またはビア穴などのさまざまな構造物を超微細材料で製造することができます。この高度なエッチング技術は、半導体産業におけるエッチング処理の性能を向上させました。TEL Tactras Vigus RK3エッチャー/アッシャーは、プロセス制御用の高精度で高解像度のアクティブプロセス補償（APC）システムを備えています。この機能により、安定した再現性の高いエッチング処理が可能です。さらに、アクティブ冷却システムを内蔵しているため、処理速度が非常に効率的です。プロセスチャンバーは、プラズマ処理と材料負荷のための別々の領域で設計されており、様々なエッチング処理が可能です。また、東京エレクトロンタクトラスビガスRK3には、レシピデータベースと機能セットが拡張されています。このエッチャー/アッシャーは、カスタマイズされたエッチングレシピを作成するオプションを使用して、最適なエッチングパラメータを選択できます。さらに、プロセス条件データベースは、リアルタイムのプロセス結果を保存、分析、表示することができ、エンジニアはプロセスを最適化および制御するための強力なツールを提供します。Tactras Vigus RK3エッチャー/アッシャーは、ナノスケールレベルの材料の高解像度エッチングに理想的なソリューションであり、大幅なコスト効率とパフォーマンスのメリットを提供します。最も要求の厳しいエッチング用途でも優れた品質を提供することができ、半導体デバイスのメーカーが高収率で欠陥のない製品を得ることができます。