中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 #9284611 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3は、多種多様な材料の精密エッチングとアッシングを目的とした次世代のエッチングおよびアッシャー装置です。このシステムは、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカル、半導体、ナノテクノロジー分野の高品質デバイスの生産に最適です。Vigusは、高水準のレーザー絶縁技術を使用して、エッチングとアッシングの最高品質を提供します。つまり、最も正確なカットでも、より高速で正確に行うことができます。TEL独自のTCS （Technology Control Unit）を採用し、エッチングとアッシング速度の向上、プロセス制御の向上、プロセス予測性の向上を実現しています。これにより、各アプリケーションごとに最適なエッチングとアッシング速度が達成されます。GUIは、エッチングとアッシングモードのさまざまな視覚設定とユーザーフレンドリーな制御も提供します。Vigusは、単層と多層のエッチングとアッシングパターンの両方を生成することができます。このユニットは、金属、非金属、ポリマー、さらには石英などの複数の材料を扱うことができます。さらに、グラファイトや半導体基板などの有機・無機材料の加工も可能です。さらに、Vigusには、クリーニング、エッチング、アッシングなど、さまざまなエッチングとアッシングのオプションがあり、ユーザーは自分のアプリケーションへのアプローチを手元で調整することができます。Vigusは他のマシンとは一致しない卓越した精度を提供します。25nmまでの解像度までエッチングとアッシングが可能です。この単位によって提供される精密によって、破片の製作および他のマイクロエレクトロニクスの適用のための可能性は事実上無限です。Vigusはまた、前任者よりも高いスループットと低い所有コストを提供します。このユニットは、他の多くのエッチングおよびアッシングシステムよりも高いエネルギー効率評価を備えています。これにより、広範囲のデバイスを大量に生産するのに理想的です。さらに、Vigusはレシピの豊富なライブラリを提供しており、ユーザーはさまざまなエッチングとアッシング技術をすばやく簡単に試すことができます。TEL Tactras Vigus LK3は、パワフルで精密なエッチングとアッシャーツールで、最高レベルの制御と精度をユーザーに提供し、さまざまな材料で高品質のデバイスを作成します。最先端の技術、豊富なレシピのライブラリ、低コストの所有権を備えたVigusは、大規模な生産に理想的なエッチングとアッシャー資産です。