中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649540 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+は、さまざまなプロセスに高度な精度と品質を提供するために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーはUnder Bump Metallization （UBM）プロセスを備えており、パターニングエラーやその他の問題による不正確な形成バンプのリスクを大幅に低減します。このプロセスは、金属バンプにUBM膜を堆積させるPECVDプロセスを利用しており、バンプを正確かつ均一に配置することができます。TEL Tactras Vigus LK3+はまた、高度な大気圧プラズマ処理装置を提供し、効率的な表面活性化を可能にします。このプロセスにより、基板の濡れ性が向上し、ウェーハ基板への薄い金属膜の接着性が向上します。また、精密な蒸着速度を提供し、+/-0。1nmの金属精度と30nmのピッチ制御により、精密な金属蒸着を保証します。TOKYO ELECTRON TACTRAS VIGUS LK3+は、環境に配慮した設計となっており、微粒子の放出が少なく、低圧エッチャーユニットを採用しています。このマシンには、エッチングまたはアッシング処理中にさまざまな信号やパラメータを記録することができる自動マルチパラメータレコーダーも装備されています。Tactras Vigus LK3+には、安全シャッター、ガスボリュームモニター、地上障害遮断器、真空ブレーカなど、さまざまな高度な安全管理システムが装備されています。このツールは、事故や機械の故障に対する信頼性の高い保護を提供します。このマシンには、タッチパネルベースの制御資産とレーザーレジストエッジプロファイリングモデルも含まれており、エッチングプロセスを正確に制御できます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+は、安全性を犠牲にすることなく優れた精度と品質を提供する非常に高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高度なUBMプロセスと精密な蒸着速度により、金属バンプの正確な形成が可能になり、包括的な安全管理システムにより、事故や機械の故障に対する信頼性の高い保護が保証されます。