中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #293666978 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vestaは、研究用に設計された高度なエッチャーまたはアッシャーです。エッチングとアッシングのための高精度技術と多くの便利な機能を兼ね備えた機器です。エッチング/アッシングシステムは、マスク投影ユニット、スパッタフォーマット、ロードポート、チャンバーで構成されています。マスク投影ユニットは、基板上のレジストコーティングの形成に使用されます。マスクパターンを正確に配置するためのコンタクトレンズ位置決め装置も内蔵しています。スパッタフォーマットは、基板の加熱、洗浄、アッシングに使用されます。基板をチャンバーに積み降ろしするロードポートには、機械式ロボットアームと真空ユニットを備えたウェハローダ/アライメント装置があります。このロボットアームは、基板の水平と垂直の両方の正確な動きを保証するリニアドライブユニットで構築されています。チャンバー自体は、基板の積み降ろしに使用可能なスペースの量を最大化するユニークな長方形の形状を持っています。また、基板の効率的な脱気を可能にする新しい温度制御・排気装置を内蔵し、エッチング・アッシング性能を高めています。Tactras Vestasツールには、すべての基板タイプのプロセスレシピとパラメータを格納する包括的なデータベースが装備されています。さらに、複数のプロセスレシピを一度に保存できるため、効率的なマルチタスク処理が可能です。アセットにはデータロギングモデルも組み込まれており、エッチングとアッシングのプロセスを便利に監視できます。TEL Tactras Vestaには、基板の品質向上を目的とした高度なエッチングおよびアッシングアルゴリズムが搭載されています。エッチングおよびアッシングアルゴリズムは、基板のエッチング深度とエッチング速度を制御し、グローバルプロファイル解析を使用して基板の品質を最適化します。さらに、機器には、特定のアプリケーションに応じてエッチングレートを微調整する新しいエッチングレートコントローラも含まれています。東京エレクトロンタクトラスベスタの安全運転を確保するため、安全衛生機能を多数搭載しています。故障検知機を使用して工具誤差を検知し、自動運転を直ちに停止してダメージを防ぎます。さらに、Tactras Vestasは、高度な空気ろ過および排気システムを使用して排出量を削減することにより、環境への影響を最小限に抑えるように設計されています。全体として、Tactras Vestaは研究用途に高精度で効率的なエッチングとアッシングを提供するように設計された高度なエッチャーまたはアッシャーです。このアセットには、正確で安全な操作を保証する多数の機能とアルゴリズムが組み込まれています。様々な基板を効果的に加工できるパワフルなモデルです。