中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #293638910 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta
ID: 293638910
Polysilicon etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vestaは、基板から物質を化学的に除去する装置です。半導体およびその他の関連産業での使用を想定して設計されており、高度な平面化およびエッチバックプロセスを提供します。このデバイスは、エッチングに誘導結合プラズマを使用し、不要な材料の機械的除去と組み合わせて、優れた材料除去と平面化を提供します。TEL Tactras Vestaには、可変RF周波数シャーシ、内部エネルギー管理、金属エッチングカセット技術など、エッチング工程を改善するいくつかの技術が搭載されています。このデバイスの可変RF周波数シャーシは、異なる周波数レベルでの動作を可能にし、さまざまな種類の材料をエッチングするための柔軟性を高めます。その内部エネルギーマネジメントシステムは、エッチング材料のより均一な堆積を提供し、無駄な材料を最小限に抑え、パフォーマンスを最適化するのに役立ちます。さらに、金属エッチングカセット技術により、エッチング時に高い精度、確実性、スループットを確保し、ローディング時間を短縮し、複数のウェーハの効率的なサイクリングを可能にします。また、安全インターロック、圧力アラーム、ガス漏れ検知器など、オペレータを保護し、効率的な運用を実現するさまざまな安全機能を備えています。全体として、Tactras Vestaは半導体業界での使用に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。スマート技術と優れたエッチングプロセスの組み合わせにより、安全な環境を確保しつつ、優れた性能と優れた結果を提供します。このデバイスは、あらゆる半導体製造プロセスにおいて信頼性が高く強力な選択肢です。
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