中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM #9290523 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM （Super Chemical Control Machine）は、ディープエッチング、ファインパターニング、プロファイルコントロールを実現するエッチャー/アッシャーです。基板へのダメージを最小限に抑え、優れた基板レベルの平面化を実現する半導体プロセス工具です。TEL TACTRAS SCCMは、プロセス能力を最大限に発揮するコンパクトな設計と、制御管理機能の向上を実現しています。操作が簡単な直感的なユーザーインターフェイスを備えており、自動処理と監視によりスループットが向上します。エッチャー/アッシャーには、ウェットエッチングステージ、バッフィングステージ、基板平面化ステージの3段階の自動平面化があります。TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCMは、エッチング深度を制御する「ダブルエッチング」機能や、高度なオイルストレートを備えたプロファイルタイプも提供しています。Tactras SCCMは、単一の制御モジュールからの自動エッチング、枯渇、スパッタリングなどの機能を組み込んだ高度な制御システムを備えています。この制御モジュールは、エッチャー/アッシャーの同期動作を保証し、エッチング処理の精度と一貫性を向上させるために使用できます。TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCMは、使いやすさを追求したタッチスクリーンコントロールユニットを搭載し、監視・制御のための各種システムに接続することができます。また、リモートモニタリング機能も備えており、デバイスを遠隔地から監視および制御することができます。TEL Tactras SCCMエッチャー/アッシャーには、薄膜、化学系スパッタリング、酸化物系スパッタリング、リバースイオン抽出など、さまざまなスパッタリング機能があります。電子ビーム蒸発器を内蔵しているため、迅速かつ効率的で均一な薄膜蒸着が可能です。さらに、触覚センソレックスとマニピュレータは、基板の位置と速度を正確に制御することができます。TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCMは、高容量生産とプロセス最適化に最適なオールインワンエッチャー/アッシャーです。精密エッチング/スパッタ/枯渇操作、および幅広いオートメーション機能を提供します。効率的でユーザーフレンドリーな設計により、優れた結果で生産性が向上します。