中古 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN #293773387 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras BX JINは、半導体デバイス製造に使用されるエッチングおよびアッシング処理を可能にする、高性能でコンパクトなエッチング（またはアッシング）装置です。安全性を高め、エッチングとアッシング技術の最新の進歩を活用しながら、信頼性の高いプロセスの均一性と再現性を提供するように設計されています。BX JINエッチャー/アッシャーは、プロセスの均一性と再現性を向上させる高度なエッチングチャンバー設計を採用しており、アウトサイジングの削減とエッチング構造の改善を実現しています。また、RFエッチングエンジンには高速スイープアップ、高温バイアスを採用し、FEOLオペレーションにおいて高い貫通性を発揮します。TEL Tactras BX JINには、高度なプロセス制御技術と、イオンアシストプロセス制御（IPC）、 FEOLベースのプロセス制御ユニット（FPCS）、プロセス固有の微調整システムなど、さまざまなプロセス制御システムが搭載されています。また、精度と再現性のための自動化されたプロセスマッチングシステムと、より迅速かつ安全にエッチングするための水ベースの冷却機を備えています。また、TOKYO ELECTRON Tactras BX JINは、アプリケーションごとに保存できるさまざまなプロセスレシピを備え、特定の要件に合わせてエッチング/アッシングレシピを微調整できます。最後に、このツールはリモート接続を提供し、ユーザーがエッチング/アッシングパラメータを監視および調整してプロセス精度を最小限に抑えることができます。これらの機能を組み合わせることで、Tactras BX JINは今日利用可能な最も強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーシステムの1つになります。半導体業界でのエッチング/アッシュ操作に最適で、高い安全性と効率で信頼性が高く、再現性が高く均一なプロセス結果を提供します。