中古 TEL / TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW #293587739 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWWは、TEL Limitedが開発したセミオートウェーハエッチャー/アッシャーです。この装置は、最大4つの8インチ（200mm）の直径のウエハ上に、あらゆる種類の電子部品を一度にハイスループットで再現可能なエッチングおよびアッシングを可能にするように設計されています。このシステムは、貴金属、シリコン、石英、およびその他の高k誘電体などの幅広い材料を処理することができます。TEL TAC-3WWZZWWの特徴は、自動制御された温度、低いガス消費率、およびチャンバー全体のエッチングおよび灰プロセスの均一性を保証する独自の光ファイバー照明です。TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWWのエッチャー/アッシャーチャンバーはステンレス製で、ボトムレスるつぼ付きの円筒形です。また、マスフローコントローラとチャンバー内の温度を制御するための熱電対を備えています。さらに、ウェーハの積み降ろし用とガス導入用の2つの自動バルブを装備しています。チャンバーは圧力制御も備えており、オペレータはプロセス圧力を正確に調整することができます。さらに、このユニットはあらゆる方向で作業できるように設計されており、精密なエッチングと灰プロセスを最小限のプロセス変動で実行できます。TAC-3WWZZWWはまた偶発的なガスの漏出を防ぐための安全連結機械を含んでいます。このツールは、金属ボックス、圧力スイッチ、およびリーク検出器で構成されています。圧力が低下した場合にすぐに資産をシャットダウンするように設計されています。また、漏れが発生した場合に有害ガスを除去するための内蔵の排気モデルも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWWは、効率的かつ再現性のあるウェーハのエッチングとアッシュ処理を可能にする数々の先進技術を誇っています。Digital Microcontroller Interface （DMIF）は、オペレータがチャンバ内の温度およびプロセス条件を正確に監視できる高度なセンサ技術です。また、自動化されたタイトシーリングウェーハホルダー、リアルタイムのチャンバー温度監視、レシピベースのプログラミング、最大4つのプログラム可能な予熱温度などの強力な機能も備えています。TEL TAC-3WWZZWWは、幅広い電子部品のエッチングやアッシングに最適なツールです。繰り返し可能で信頼性の高いプロセスを容易に使用できるように設計されています。その自動制御機能により、オペレータは集中的な手動入力を必要とせずに、迅速かつ正確に製造プロセスを実行できます。このシステムは、エッチングおよびアッシングプロセスにおいて高スループットと最大精度を必要とする半導体加工ラボにも最適です。