中古 TEL / TOKYO ELECTRON T-305DD #293660134 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON T-305DDは高度なエッチャー/アッシャーであり、高度なエレクトロニクス製造プロセスに欠かせない機器です。高度な発電機と高度なエッチング技術を採用しているため、高精度で一貫性のある幅広い材料を加工することができます。TEL T-305DDは、標準サイズ300mmまでの4軸ステージを採用しています。標準解像度は1軸あたり0。1ミクロンで、1軸あたり0。05ミクロンまで拡張することができます。TOKYO ELECTRON T-305DDは、長寿命の信頼性、再現性、堅牢性の高いエッチングシステムとして設計されており、SEMI S2などの製品安全規格を含む包括的な設計とCEとULマークの両方を備えています。T-305DDは、高精度で複雑な基板または微細な形状の基板を製造するための非常に貴重で費用対効果の高いツールであることが証明されています。強力で堅牢なエッチング電源と高度な技術を搭載しており、安全ではない危険性のない正確なエッチングパターンを生成します。エッチバックプロセスも可能で、微細配線やMEMS機能を備えた高性能な半導体デバイスの製造に適しています。TEL/TOKYO ELECTRON T-305DDは、用途に応じたエッチングレシピを開発するための高度な調整と設定が可能で、他の制御システムと完全に互換性があります。また、最大7500 Mbarの圧力レベルでエッチングすることができ、1時間あたり1000ウェハのスループット速度が印象的です。高品質なエッチングプロセスを実現するため、TEL T-305DDには、プロセスモニタリングおよび制御機能の完全なスイートと、統合されたマイクロプロセッサベースのコントローラが含まれています。このコントローラは、プロセス条件の最適化とエッチングバイアスの正確なターゲティングのために調整することができます。結論として、TOKYO ELECTRON T-305DDは、比類のない一貫性と精度で優れた性能を提供する強力で信頼性の高いエッチャーです。これは、高度なエッチング用途の広い範囲に最適なソリューションです。