中古 TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9211146 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SSは、適度に複雑な処理が可能な全自動エッチャーおよびアッシャーです。反応イオンエッチングおよびアッシャー装置として、TEL T-3055SSは完全なエッチングおよびアッシングソリューションを提供します。エッチングやアッシングに加え、薄膜プロセスの成膜機としても使用できます。TOKYO ELECTRON T-3055SSは、正確で正確な結果を必要とする製造およびプロセス用途向けに設計されています。高いスループットと高速サイクルタイムを備えており、1回あたり最大25ウェーハのローディング能力を備えています。このユニットは、エッチングにRFとDC混合エネルギー源の両方を使用し、アッシングに高温アニール段を使用します。また、プロセスパラメータを正確に制御するための可変質量流活性化マシンも含まれています。高度なソフトウェアとハードウェアコンポーネントを使用して、T-3055SSは反応イオンエッチングとアッシングの信頼性の高い動作を提供します。コンピュータ制御ツールは、簡単な入力と簡単な操作のためのグラフィカルディスプレイと完全なユーザーフレンドリーなインターフェイスを持っています。また、プロセスのトラブルシューティングや微調整に役立つ広範な診断ツールも提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SSは、さまざまな安全機能を利用してユーザーを保護し、機器の損傷を防ぎます。それは人員および装置を保護するのに安全連結を使用しRFおよびDC装置の操作を管理する最新の規則の安全要求事項を満たすように設計されています。この資産には、完全なプロセス制御のためのオンラインおよびオフラインのin-situ診断機能が含まれています。TEL T-3055SSは幅広いプロセス制御機能を備えており、ユーザーはさまざまなデバイスタイプのすべてのプロセスパラメータを制御できます。柔軟なスケジューリング機能が付属しているため、ユーザーはさまざまなエッチングおよびアッシング作業のために複数のパラメータを簡単にプログラムできます。また、ウェーハの自動転送モデルも搭載されており、複数のウェーハを1つのチャンバーから別のチャンバーに移動させることができます。TOKYO ELECTRON T-3055SSは、信頼性の高い高精度エッチャーとアッシャー装置です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと豊富なプロセス制御機能により、半導体業界の幅広いアプリケーションに最適です。幅広い安全機能と広範な診断機能により、T-3055SSは信頼性と正確な結果を提供します。