中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #293776178 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCMは、シリコンウェーハから集積回路を製造するために使用されるエッチャー/アッシャーです。この装置は、高精度かつ高精度のシリコンウェーハ上のエッチング回路またはアッシャー回路に設計された、信頼性の高いユーザーフレンドリーなツールです。装置は、主制御装置、加熱装置、ガス供給システム、光学ユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。制御ユニットは機械全体の制御を担当し、エッチャー/アッシャーの他のコンポーネントを調整するために使用されるモーター、バルブ、およびセンサーが含まれています。TEL SCCMの加熱工具は、均一なエッチングを実現するために温度制御環境を提供します。これは、ウェーハの上に配置された赤外線ランプまたはマイクロ波エミッターを使用して行われます。熱エネルギーは低いが均一な強度の熱を放ち、最適なエッチング環境を作り出します。ガス供給資産は、エッチング室に必要な反応剤を供給する責任があります。これには、O2、 CF4、 O3などのガスが含まれます。これらのガスはタンクコンテナに格納され、一定の流量でエッチング室に導入されます。TOKYO ELECTRON SCCMの光学モデルは、エッチング工程の進捗と結果を観察する役割を担っています。光学顕微鏡、カメラ、一連の光学センサーで構成されています。この装置は、ユーザーが最適な結果を確保するためにエッチングプロセスを監視し、調整することができます。全体として、SCCMは信頼性が高くユーザーフレンドリーなエッチャー/アッシャーであり、高い精度と精度で高品質の集積回路を製造することができます。機器のさまざまなコンポーネントがシームレスに連携し、制御された最適なエッチング環境を提供します。この装置により、集積回路のメーカーは自信を持って高品質の製品を生産することができます。