中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9412419 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TEは、半導体製造に使用されるアッシャーとしても知られるエッチャーです。ウェーハ表面を損傷することなく半導体ウェーハ表面から不要な材料を除去するために使用されるツールです。この機械は、プラズマ源、真空チャンバー、基板ステージで構成されています。プラズマ源は真空チャンバー内でイオン化されたガスを放出します。イオン化されたガスは、ウェーハの表面と相互作用するように作られます。この相互作用は、ウェーハの表面からフォトレジストなどの不要な材料を除去します。プラズマ源は高周波放電を利用してプラズマを生成し、基板段は真空チャンバーの中央に配置されています。ステージはウェーハを所定の位置に保持するように作られており、気流とエッチング処理を可能にするように調整することができます。TEL SCCM TEの大きなメリットの一つは、その精度です。ウェハ表面から不要な材料を正確に除去するように設計されており、半導体製造に最適です。また、高効率で複数のウエハを一度に処理することができます。さらに、この機械は汎用性が高く、さまざまなエッチング処理に使用できます。機械の操作も比較的簡単です。通常、いくつかの簡単な手順で設定され、オペレータはすぐにマシンの使用を開始できます。機械はまた比較的小さく、作動するために比較的小さいスペースを要求します。さらに、他のエッチャーと比較して、マシンは比較的低コストです。TOKYO ELECTRON SCCM-TEは、半導体製造に最適な高精度で汎用性の高いエッチャーです。表面を傷つけることなく、ウェーハ表面から不要な材料を素早く正確にエッチングするように設計されています。操作も簡単で、スペースとコストが比較的少ない。