中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9398277 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TEは半導体業界の厳しい基準を満たすように特別に設計されたフル機能のエッチャー（別名アッシャー）です。TEL/TOKYO ELECTRON Semiconductor Process Equipmentのラインナップとして、精密なマイクロチップエッチングに最適で、操作の柔軟性、精度、スループットを提供します。他のTEL機器と同様に、メンテナンスを最小限に抑え、安定した結果を提供するために構築されています。TEL SCCM TEには様々な高度な機能があります。100kHzから885MHzまで幅広い周波数を提供できる強力な22GHz（サイドウォール）RFジェネレータを搭載しています。精密エッチングには、オプションの高性能で高精度なロードマッチングネットワーク（LMN）を採用し、基板との正確なインピーダンスマッチングを可能にし、最大の電力伝送効率を実現します。また、LMNは、ほとんど歪みのない広範囲のアクティブ動作周波数とソースマッチングを可能にします。また、TOKYO ELECTRON SCCM-TEは4チャンネルのスライドキャビネットターンテーブルを備えており、複数基板の各種エッチング構成を予期せぬ汎用性を発揮します。可変速度反応ボールモータは、加速または減速時に滑らかで低振動のレチクル回転と正確な動きを提供します。調節可能なオペレーターコンソール、タッチスクリーンインターフェース、広々とした解像度のテーブルを備えた人間工学に基づいたデザインです。SCCM TEには、レチクルハングとスタッキングを排除し、生産性とスループットを向上させる垂直搬送システム（VTS）が内蔵されています。VTSは、基板の上下、左右の4方向回転も可能です。さらに、オプションのMEMSチャック、ラインヒーター、OES（光エミッシブシステム）センサーを搭載し、温度や基板プロファイルなどのエッチングパラメータを正確に検出します。さらに、エッチングの終了点を予測し、CCDセンサーを介して動作を監視し、プロセス履歴を表示することで、エッチング処理を高速化できるソフトウェアを搭載しています。直感的でユーザーフレンドリーなコントロールと運用の柔軟性により、優れた生産カスタマイズが可能です。このように、より効率的かつ正確に仕事を完了し、全体的な生産性を向上させるために使用することができます。TEL SCCM-TEは半導体業界で高い評価を受けており、信頼性の高い結果、スピード、精度に定評があります。そのため、繊細な部品や半導体チップのエッチングに最適です。その高度な機能と機能は、正確なエッチングまたは基板固有の操作を実行する必要がある企業にとって素晴らしい資産となります。