中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9235809 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TEは、高精度、高スループットのウェーハ製造ニーズに特化した先進的なエッチャー/アッシャーです。このツールは、精密な処理プロセスを確実にするために多くの機能を備えています。例えば、そのカウンターバランス機構は、エッチングチャンバー内でウェーハがシフト、振動、その他の損傷を受けるのを防ぎます。さらに、マシンのパワーコントロール装置は、ウェーハを過剰エッチングから保護します。TEL SCCM TEには、マルチガス制御が可能な高度なガス配送制御モジュールが装備されています。エッチャーは、ガス供給量を制御することで基板チャンバ内の独自の化学環境を維持し、エッチングを正確に行うことができます。さらに、高速で高出力のシングルウェーハエッチソースにより、エッチャーは短時間で構造を正確にエッチングすることができます。2段階のエッチングを使用することで、必要な工程時間を最小限に抑えることができます。エッチャーには完全に自動化されたローディングアームが付属しており、ウェハの正確で安定したロード/アンロードを保証します。また、自動ウェーハクリーニングシステム、正確な温度制御ユニット、静的除去機など、多くの効果的な機構を備えています。微妙なウェーハおよび基板の問題を検出するために赤外線カメラが設置され、ウェーハがデバイスに正しくロードされ、エッチング処理が適切に行われるようにします。TOKYO ELECTRON SCCM-TEには、さまざまな障害予防および保護メカニズムも含まれています。これらの対策には、雷の保護ツール、アラーム資産、多数の安全装置、および正確な位置決めを可能にするプラチナエンコーダが含まれます。また、火災を検出、警告、および制御することができる防火モデルを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM-TEは、大量の高精度ウェーハ処理用に設計された革新的なエッチャー/アッシャーです。その高度な技術は、正確さ、再現性、安全で効率的なエッチングプロセスを保証します。パワーコントロール機器、先進ガス配送制御モジュール、全自動ローディングアーム、各種フォルト防止・保護機構など、完璧なエッチング環境を確保するための多くの機能を備えています。