中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9206140 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TEは、半導体製造向けに設計されたシングルウェーハエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、MEMSの高度なエッチング/アッシングプロセス、複数のウェハ製造、MEMS/MMIC/Compound Semiconductorデバイス製造のための単一のソースを提供します。優れたプロセス制御と均一なエッチング結果と誘電性コンフォーマルコーティングの均一性を提供します。このユニットは、自動プロセス制御、in-situクローズドループ監視、およびウェーハスループットを向上させるためのパターンジェネレータのシーケンシャルコントロールを備えています。TEL SCCM TEは、優れたプラズマ処理性能を提供するように設計されており、ICP SiO₂エッチング、HClエッチング、O₂/Arリアクタントガス、化学機械式ウェーハ研磨（CMP）機能を備えています。精密かつ再現性に優れ、高分解能スイッチング距離（HRSD）やプランニング/エッチング制御用の平面化ツール、ウェハ回転資産、先進的なフォワード&リバースRF電源供給、プラズマスパイク保護のためのリアルタイムタンク圧力制御などの高度なツールを備えています。さらに、スプレー加熱装置と革新的なセルフクリーニング装置を搭載し、表面地形への汚染の影響を低減します。TOKYO ELECTRON SCCM-TEにはin-situ Faradayシールドが搭載されており、TEL独自のレジストウエハラインを処理することができ、さまざまなエッチング/アッシュ工程にわたるマルチプロセス統合が可能です。また、エッチングパラメータ、アライメント精度、誘電体エッチバック、基板パターン、プロセスレシピなど、さまざまなカスタマイズ可能な加工パラメータを提供し、高性能で高収率な生産を可能にします。さらに、SCCM-TEは、マルチレシピ管理、PCベースの計測制御、ウェハトラッキング、GDS/GDSIIデータ管理、品質管理モニタなどの高度な自動化機能を提供します。機械は24/7操作の使用のために設計され、優秀な速度および信頼性を提供します。統合された自己診断、リモート接続、簡単なメンテナンス機能により、このツールはプロセス集約型アプリケーションに最適です。この資産の革新的なエンジニアリングは、厳しい条件下での信頼性の高いパフォーマンスのために、最高レベルの材料と組み合わされています。真空密封された溶接された部屋、高純度のガス・システムおよび他の高度の部品の使用は優秀な反復性および長期安定性を保障します。TEL SCCM-TEは、最高レベルの性能と使いやすさを提供します。