中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #293634373 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TEは半導体製造業界で広く使用されている高度なエッチャー/アッシャーユニットです。シリコンウェーハ、アルミニウムスラグなどの半導体材料の全面処理が可能です。金属材料を正確かつ迅速にパターン、エッチング、電気めっきするように設計されており、部品を清潔に保ち、汚染を防ぎます。TEL SCCM TEエッチャー/アッシャーには、水平および垂直の真空チャンバーのシリーズとともに、石英またはステンレス製のホットプレートが装備されています。ホットプレートは、350°Cまでの均一な熱を供給することができ、エッチング前の表面平坦化などの前処理プロセスに使用することができます。チャンバーには六塩化硫黄ガスが充填されており、優れたエッチング効果を発揮します。ホットプレートと真空チャンバーの組み合わせにより、エッチング/メッキ精度に優れています。さらに、このシステムには、エッチングとメッキのサイクル間のプロセスガスの洗浄と再循環を支援するパージシステムが内蔵されています。TOKYO ELECTRON SCCM-TEエッチャー/アッシャーは、半導体製造業界におけるエッチングとメッキのための強力で汎用性の高いツールです。それは最高品質のエッチングを可能にし、複雑でシンプルなリソグラフィープロセスの両方に最適な結果を生み出すことができます。そのホットプレートと真空チャンバーは、均一で正確なエッチングとメッキの結果を効果的に作成します。さらに、パージシステムを内蔵しているため、プロセスガスの洗浄と再循環に役立ち、精度と再現性に優れています。このユニットは信頼性が高く、コスト効率が高く、さまざまな材料や用途に優れた結果を提供します。